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集成電路應(yīng)用

1、12寸芯片, 3nm-28nm；
2、VOC, SO2, H2S, Cl-, Ammonia, MDS, O3, 等氣體過濾；
3、建廠時潔凈室的初期氣體清理；
4、外氣MOU氣體分子過濾；
5、FFU 化學(xué)濾網(wǎng)過濾；
6、機(jī)臺上的設(shè)備氣體過濾；
7、面板廠曝光機(jī)的過濾機(jī), 保護(hù)鏡頭。



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